臭氧消毒柜是一種利用臭氧氣體進行消毒的設備，其工作原理主要包括臭氧生成和臭氧消毒兩個步驟。
首先，臭氧生成。臭氧是一種具有強氧化性的氣體，能夠迅速殺滅空氣中的細菌、病毒和真菌等微生物。為了產生臭氧氣體，臭氧消毒柜內通常設有臭氧發生器。臭氧發生器一般由高純度的氧氣通過電場放電方式產生。具體而言，臭氧發生器中通過電極放電產生制造出電離的氣體，這些氣體與空氣中的氧分子發生反應，生成臭氧（O3）。這個過程是通過電弧的放電沖擊對空氣中的氧氣進行分解，并將分解產生的氧分子與空氣中的氧分子結合而生成臭氧。臭氧發生器一般具有好效率和快速響應的特點，能夠較快地生成臭氧氣體。

接下來，臭氧消毒。當臭氧生成后，臭氧氣體進入臭氧消毒柜的密封室內進行消毒。臭氧通過其強氧化性，能夠破壞微生物的細胞壁和膜，破壞其DNA和RNA結構，從而導致微生物的死亡。臭氧消毒柜通常會將具有消毒需求的物品放置在密封室內，打開臭氧發生器使其產生臭氧氣體，并通過特定的循環設備將臭氧氣體均勻地散布在密封室內。

臭氧氣體會將微生物的外殼、組織和細胞結構氧化破壞，消除微生物的生存能力。臭氧消毒柜通常會通過控制臭氧氣體的濃度和接觸時間來達到有效的消毒效果。臭氧的消毒速度相比于常規的氯化消毒劑更快，且臭氧對不同類型的細菌和病毒均有較好的殺滅效果。

總的來說，臭氧消毒柜的工作原理是通過臭氧發生器生成臭氧氣體，再將其散布在密封室內，利用臭氧的強氧化性來殺死細菌、病毒和真菌等微生物。臭氧消毒柜具有消毒效果好、速度快以及無殘留等優點，在醫療衛生、食品加工等領域得到廣泛應用。